Wafer Laser Trim 雷射晶圓修阻機

雷科股份有限公司

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Laser marking / Wafer Laser Trim 雷射晶圓修阻機

Wafer Laser Trim 雷射晶圓修阻機
Wafer Laser Trim 雷射晶圓修阻機

晶圓修阻是一種特殊工藝,透過雷射加工在晶圓上修整/ 修阻,雷科設計此款設備提供高精準XYZ theta,結合更有效的反饋系統,可精確的在晶片上有效加工。

  • 花崗岩平台
  • Linear motor X Y線性馬達
  • 採用1W UV 355nm 雷射
  • Auto Zoom CCD 高低倍率自動切
  • 高精度與高品質的晶圓修阻設備
  • 【Application】

Product processing instruction

Other Product Description

Technical specification

Detailed related technical specifications.

項目 規格
系統 內含:光源、載台控制系統、電腦等 外觀尺寸 1650mm(W)X1000mm(L)X1800mm(H)(不含三色警示燈)
重量 1800kg
台面 XY行程 Lens FOV 17mmx17mm
Spot Size 6μm
光源 雷射波長 UV 355nm
功率 1W(0.2uJ~10uJ@50KHz)