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Non-contact Profilometer
Germany Cyber Technologies CyberScan Handling System
CyberScan Handling System
CyberScan Handling System 多功能晶圓分類傳輸測量系統是專為晶圓測量所特別設計的測量系統。
系統由一台雙機械臂傳輸機器人系統和一台CyberScan量測系統組成，並可擴展到兩台量測系統的雙機械臂，雙量測系統。
該系統不僅可以有效利用寶貴的潔凈室的生產空間，還可以提高生產設備的利用率，最大限度的提高樣品檢測能力，縮短循環時間。
很多國際大型半導體晶元生產廠商都將CyberScan Handling系統視為快速提高產能，增加生產效率的尖兵利器。
- 機械臂操作矽片最長可達300mm，具有極高的可靠性和精準度。
- 無噪音運行，無刷免維護，平均故障間隔時間為50000運作時間。
- 自主設計研發的Load Port可實現4,6,8吋晶圓料盒的自主識別，集成在位檢測，料倉安全鎖等功能。 同時支持測量進行中的取放物料操作，並裝配保護光閘，最大限度提高檢測效率。
- 機械臂的叉臂End/effector表面經過防靜電表面處理，可以實現三種尺寸料盒內任意各層之間矽晶片的取放。
- Pre-Aligner切口檢測和讀碼相機進行一體化設計，使得晶圓定位和表面讀碼可以同步進行，省去專用於ID碼的識別時間，極大提高生產效率。
- 讀碼相機可識別常用OCR模組，條碼，二維碼，數位及字母等的Wafer ID， 並配備多模組式光源，各模組光源均獨立控制。
- 系統整體相容1級無塵室，全不鏽鋼保護罩。
- SECS/GEM 協定全自動話控制。
- M-Link 智慧全時3D可視化操作系統。
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CyberScan Handling System
